Anfatec开尔文探针系统 中文
这种单点开尔文探头系统在特定环境条件下运行，体积足够小，可以放置在特制的样品箱中。探头采用振荡膜，可轻松更换。前置放大器集成在探头内部。
该系统随附 Thomson I 控制器和在 Windows 下运行的 PC。
样品架直径：40 mm，带 3 mm 孔，用于标准 SEM 样品架
最大样品尺寸：100 mm x 100 mm（安装在底板上）
该系统随附 Thomson II 控制器和 Windows PC。脚本语言允许用户定义测量程序并提供最大的灵活性。
该系统可以放大到最大 70 cm x 50 cm 的样品尺寸。它可以配备一个独立移动的顶部触点，其功能状态通过电容电路进行检查。因此，可以分析具有电极交叉点的大型玻璃基板上的表面层。
扫描范围： 10 mm x 10 mm， 探头直径： 0.2 mm， 250 像素 x 250 像素， 扫描速度： 0.3 秒/像素.
扫描范围： 10 mm x 10 mm， 探头直径： 0.2 mm， 250 像素 x 250 像素， 扫描速度： 0.25 秒/像素.
自动化程序允许对整个、半或四分之一晶圆以及直径较小的晶圆进行成像。
超过 100 mm 的电动 X轴运动范围，定位精度为 50 μm
